簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="頻差觸發法"


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    頻差疊紋法應用於晶圓表面形貌量測之開發
    • /104/ 碩士
    • 研究生: 黃堯暉 指導教授: 謝宏麟
    • 本研究提出一套新式的「頻差疊紋式表面形貌量測技術」,用以偵測置放於高迴轉速(1500rpm)平台上的藍寶石晶圓表面形貌。此套量測技術以疊紋理論為設計概念,結合雷射準直儀、掃描輪廓法及亞條紋分析法等技…
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